目前為止，我們已經評論了直接丈量濾光片的光學性質，但仍有一些很難丈量的物體的天然性質，這與薄膜和基底的質量和加工有關。高功率偏振分光棱鏡公司對于任何光學元件，都會對基片進行具體的描繪，如外表形狀、拋光程度、答應涂片、光潔度等，這兒不應再考慮基片。mil-e13830a在美國得到了遍及的運用，為包含基板在內的光學元件供給了一套有用的規范。

　　可以通過存在比如針孔、污點、濺射標記和未涂覆區域的缺陷來丈量涂層的質量。針孔有兩個主要原因。

　　首要，它們實踐上有很小的未涂覆區域或一些未涂覆的區域，這將導致額定的光傳輸截止區，然后降低濾波器的全體功能。

　　其次，高功率偏振分光棱鏡公司發現對于可見光波段的濾光片來講，這些缺陷會影響全體外觀。事實上，它們使外表看起來比實踐體現更糟糕。除了簡略的外觀判斷外，還可以根據給定大小單位面積上的較大值來確定針孔的答應大小，即當濾波器的截止值減小到給定值時針孔的數量。為了核算該值，必須假定在任何時間運用的濾波器的較小面積。很明顯，面積越小，針孔數量越小。當然，在任何過濾器中，針孔的實踐核算都要耗費很多的人力。在實踐運用中，將濾光片與參閱樣品進行比較，可見濾光片的丈量往往是可視化的。

　　一個簡略的燈箱固定支架可以很簡單地制作，并且可以在上面放置很多的過濾器，高功率偏振分光棱鏡公司提醒這樣可以與參閱樣品進行比較，以確定它是否符合要求。對于不透明基片上的濾光片，更簡單丈量其實踐截止功能。

　　一般來說，除非數量巨大，不然對光學功能的影響很小。一個重要的風險是物質碎片可能會掉下來，針孔也會出現。濺射進程有時會引起結瘤的生長并帶來一些問題，或者假如存在很多濺射碎片，則散射丟失可能添加。與操控針孔相同，這是可以操控的，但由于鏡面反射光學功能幾乎不受影響，除非濺射標記數量很大，不然確定答應值的辦法往往是片面的。假如針孔是由濺射發生的，它們將被分隔處理。

　　高功率偏振分光棱鏡公司提醒一般在指標中會闡明：沒有可見的濺射軌跡，但是這種描繪是非常模糊的，尤其是當檢查員沒有光學經歷時。當用戶檢查員運用鏡頭輔佐肉眼觀察時，用戶和制造商之間會有差異。當它可以選用與測驗銷孔相同的精確辦法時，將測驗與兩邊商定的參閱樣品聯系起來。